产品简介

Universal射频电源是用于半导体生产和等离子工艺的新一代多功能全固态射频电源；使用全数字化控制技术。典型应用于等离子体刻蚀，PECVD，射频溅射、平行板、射频激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半导体及太阳能薄膜的典型工艺。

Universal射频电源采用了先进的高效率高稳定性的射频功放技术。这种技术能有效地减少功率损耗，提高设备的寿命。

快速智能的驻波（VSWR）保护功能，Universal系列射频电源的驻波保护能在负载出现异常后毫秒级的时间内快速启动，可以及时的可靠的保护射频电源不因负载的异常（比如负载打火，腔体突变或者匹配器不稳定等等）而损坏；并且在负载恢复后射频电源能在毫秒级的时间内的自动解除驻波恢复正常输出，整个过程无需人为干预。

高可靠性，Universal 系列射频电源有20%以上的输出功率余量，从而确保能长期稳定的工作。

先进的射频功率测量系统，Universal系列射频电源的测量系统采用V/I Sensor测量技术，此测量技术与常见的定向耦合器测量技术相比具有高敏感性、高准确性的优势，可以更精确的测量入射和反射功率。

更宽的功率输出范围，Universal系列射频电源采用先进的功放技术，射频电源的输出功率能从1%起调，输出功率的范围为1%至最大输出功率连续可调。

Universal射频电源能工作在入射功率调节和负载功率调节两种模式。另外提供两种不同的控制方法：

1. 远程控制：支持模拟控制，RS232和网口

2. 面板控制：使用前面板上的开关、RF POWER功率调节旋钮、LED显示；

尺寸

电气规格

散热及环境规格