三相20000W水冷电源
产品简介
Universal射频电源是用于半导体生产和等离子工艺的新一代多功能全固态射频电源；使用全数字化控制技术。典型应用于等离子体刻蚀，PECVD，射频溅射、平行板、射频激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半导体及太阳能薄膜的典型工艺。
Universal射频电源采用了先进的高效率高稳定性的射频功放技术。这种技术能有效地减少功率损耗，提高设备的寿命。
快速智能的驻波（VSWR）保护功能，Universal系列射频电源的驻波保护能在负载出现异常后毫秒级的时间内快速启动，可以及时的可靠的保护射频电源不因负载的异常（比如负载打火，腔体突变或者匹配器不稳定等等）而损坏；并且在负载恢复后射频电源能在毫秒级的时间内的自动解除驻波恢复正常输出，整个过程无需人为干预。
高可靠性，Universal 系列射频电源有20%以上的输出功率余量，从而确保能长期稳定的工作。
先进的射频功率测量系统，Universal系列射频电源的测量系统采用V/I Sensor测量技术，此测量技术与常见的定向耦合器测量技术相比具有高敏感性、高准确性的优势，可以更精确的测量入射和反射功率。
更宽的功率输出范围，Universal系列射频电源采用先进的功放技术，射频电源的输出功率能从1%起调，输出功率的范围为1%至最大输出功率连续可调。
Universal射频电源能工作在入射功率调节和负载功率调节两种模式。另外提供两种不同的控制方法：
1. 远程控制：支持模拟控制，RS232和网口
2. 面板控制：使用前面板上的开关、RF POWER功率调节旋钮、LED显示；
尺寸
描述 | 产品规格 |
安装 | Universal 6027 前面板提供19英寸标准机箱的安装孔 |
尺寸 | 556（长）×483（宽）×132（高）mm |
连接接头规格 | |
后面板上Analogic I/O接头 | DB25母头 |
后面板上CEX IN & CEX OUT接头 | SMA 母头 |
后面板上RF OUT输出接头 | 50欧姆7/16型同轴连接器 母头 |
后面板上AC MAINS输入 | 3kW以上直接引出电源线 |
前面板上显示 | LED 显示 |
电气规格
描述 | 产品规格 |
输入功率规格 | |
AC MAINS 输入电压 | 380Vac 三相 |
AC MAINS 输入频率 | 50Hz 至60Hz |
AC MAINS 输入电流 | 40A，额定功率 |
输出功率规格 | |
输出阻抗 | 50Ω |
输出功率 | 6000W，输出至50Ω负载 |
功率上升下降时间 | <10ms |
射频电源的输入过流保护 | 240A |
效率 | >65%，满功率输出至50Ω负载 |
脉冲功能（选配） | |
脉冲工作模式脉冲频率 | 0-50KHz |
脉冲占空比 | 0.1%-99.9% |
最小脉冲宽度时间 | 10us |
脉冲最大过冲 | <10% |
射频输出规格 | |
输出频率 | 27.12MHz±5%（扫频功能为选配） |
调频工作模式下匹配时间 | <100ms |
最小输出功率 | 60W（注：Universal 6027 能工作在60W以下，但是精度不能保证） |
最大反射功率 | 1200W |
谐波 | 额定输出至50Ω负载时，所有的谐波低于射频输出信号45dB |
射频输出功率稳定度 | 设定功率的1%或者6W，以大者为准 |
CEX 规格 | |
CEX IN & CEX OUT 信号 | TTL |
ARC灭弧功能 | 选配 |
散热及环境规格
描述 | 规格 |
冷却方式 | 风冷和水冷 |
最小空气流量 | 150立方米每小时 |
运行环境温度 | +5℃至+40℃ |
运行环境湿度 | 5%至70% |
运行环境气压 | 78kPa至106kPa |
冷却水温度 | +20℃至+30℃ |
水流速 | ＞5升每分钟 |
水压 | ＞2bar（29psi） |
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